文章摘要:该文提出了一种适用于低频测试的弛豫铁电单晶三轴加速度传感器的结构形式，加速度传感器每个坐标轴由一个单晶弯曲梁敏感元件组成。通过有限元仿真分析了弯曲梁结构中单晶层厚度、基梁金属层厚度、基梁材料等结构尺寸参数对谐振频率及加速度灵敏度的影响，找到最优结构尺寸，研制了弛豫铁电单晶三轴加速度传感器样品并进行测试。测试结果表明，弛豫铁电单晶三轴加速度传感器各个方向的一致性良好，加速度灵敏度达86.1 mV/ms^-2，可以工作在10～400 Hz的低频段。

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论文分类号:TP212

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